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真空泵的選用

點(diǎn)擊次數(shù):1714 發(fā)布時(shí)間:2014-09-25

 選用真空泵時(shí),需要注意下列事項(xiàng):

1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:真空鍍膜要求1³10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5³10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5³10-4~5³10-6mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1³10-5mmHg為好。

3真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。

5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。

6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆?;覊m,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。

水環(huán)式真空泵的選擇

一、泵類型的確定

泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。

泵工作時(shí),需要注意以下兩個(gè)方面:

盡可能要求在高效區(qū)內(nèi),也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。

應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行,不僅效率極低,而且工作很不穩(wěn)定,易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音。對(duì)于真空度較高的真空泵而言,在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行,往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無(wú)法工作。

根據(jù)以上原則,當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí),可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級(jí)泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦,可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。

二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵

初步選定了泵的類型之后,對(duì)于真空泵,還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來(lái)選用泵的型號(hào)。

關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我公司網(wǎng)頁(yè)

真空計(jì)算公式。

面對(duì)各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī),我們特將其各自特點(diǎn)收集如下,以利于用戶選型代號(hào)主要特點(diǎn)

極限真空度mmHg

工作真空度mmHg

抽速范圍m3/min

密封形式

SK國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)單級(jí)水環(huán)真空泵,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維修方便。目前國(guó)內(nèi)主流的低真空水環(huán)式真空泵。-700-300~-6500.15~120盤根、機(jī)械密封2SK國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)雙級(jí)水環(huán)真空泵,相當(dāng)于兩臺(tái)SK水環(huán)泵串聯(lián)使用,比較單級(jí)水環(huán)泵具有真空度高及高真空下抽速較大的特點(diǎn)。目前國(guó)內(nèi)主流水環(huán)式真空泵。-735-300~-7001.5~30盤根、機(jī)械密封2BV采用西門子先進(jìn)技術(shù),機(jī)泵同軸,結(jié)構(gòu)緊湊,效率高,真空度高,性能穩(wěn)定,將逐漸替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水環(huán)真空泵。-735-300~-7000.45~8.33機(jī)械密封2BE1采用西門子先進(jìn)技術(shù),效率高,真空度高,性能穩(wěn)定,將逐漸替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水環(huán)真空泵。

-735 -640 -300~-700 -300~-6005~400盤根、機(jī)械密封SZ50年代蘇聯(lián)技術(shù),效率低,能耗大,80年代初已被淘汰,主要應(yīng)用于老用戶。-640~-700-300~-6501.5~27盤根SZB50年代蘇聯(lián)技術(shù),效率低,能耗大,80

年代初已被淘汰,主要應(yīng)用于水泵引水,目前已被SK系列水環(huán)泵替代。-600-300~-5500.33~0.66盤根2SY主要應(yīng)用于水環(huán)壓縮機(jī),最大排氣壓強(qiáng)為0.6MP-6~30

機(jī)械密封2YK結(jié)構(gòu)基本與2SK系列相同,可以用被抽介質(zhì)作為工作液,極限真空度隨被抽介質(zhì)的飽合蒸氣壓而改變。表中極限真空度為工作介質(zhì)為變壓器油時(shí)的極限真空度。-755-300~-720 1.5~30

機(jī)械密封

2、真空常用計(jì)算公式

1、玻義爾定律

2、蓋呂薩克定律

3、查理定律、平均自由程

5、抽速

6、通導(dǎo)

7、真空抽氣時(shí)間

8、維持泵選擇

9、擴(kuò)散泵抽速估算

10、羅茨泵的前級(jí)抽速

11、漏率

12、粗抽泵的抽速選擇

13、前級(jí)泵抽速選擇

14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式

15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式

16、O型橡膠槽深

17、方形橡膠槽深

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1、玻義爾定律

體積V,壓強(qiáng)PP²V=常數(shù)

一定質(zhì)量的氣體,當(dāng)溫度不變時(shí),氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。

P1/P2V2/V1

2、蓋²呂薩克定律當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,其體積V與絕對(duì)溫度T成正比:V1/V2T1/T2=常數(shù)當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(P降低)1℃,則它的體積比原來(lái)增加(或縮小)1/273。

3、查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變,一定質(zhì)量的氣體,壓強(qiáng)P與其絕對(duì)溫度T成正比,即:P1/P2T1/T2在一定的體積下,一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強(qiáng)比原來(lái)增加(或減少)1/273

4、平均自由程:λ=(5³10-3)/P (cm)

5、抽速:Sdv/dt(/)SQ/P Q=流量(托·升/) P=壓強(qiáng)()V=體積() t=時(shí)間

()

6、通導(dǎo):CQ/(P2-P1) (/)

7、真空抽氣時(shí)間:對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式:t8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式) V為體積,S為抽氣速率,通常t5~10分鐘內(nèi)選擇。

8、維持泵選擇:S維=S/10

9、擴(kuò)散泵抽速估算:S3D2(D=直徑cm

10、羅茨泵的前級(jí)抽速:S(0.1~0.2)S(l/s)

11、漏率:Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1) Q漏-系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s) V-系統(tǒng)容積(l) P1-真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg) P2-真空室經(jīng)過(guò)時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg) t-壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過(guò)的時(shí)間(s)

 12、粗抽泵的抽速選擇:SQ1/P預(yù)(l/s) S=2.3V·lg(Pa/P預(yù))/t S-機(jī)械泵有效抽速Q1-真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/) P預(yù)-需要達(dá)到的預(yù)真空度() V-真空系統(tǒng)容積() t-達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間Pa-大氣壓值(托)

13、前級(jí)泵抽速選擇:

排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來(lái)維持其前級(jí)壓力低于臨界值,選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面流量恒等的原則有:PnSgPgS SgPgs/PnSg-前級(jí)泵的有效抽速(l/s) Pn-主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s) Pg-真空室最高工作壓強(qiáng)() S-主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)

14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式:SQ/P(K·n)/(P·t)(/式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s) n-滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)() t-油柱上升n格所需要的時(shí)間() P-在泵口附近測(cè)得的壓強(qiáng)() K-滴管系數(shù)(托·升/) KV0·(L/n)·(Υ0/Υm)+PaVt其中V0-滴管和真空膠管的原始容積() L-滴管刻度部分的長(zhǎng)度(mm) n-滴管刻度部分的格數(shù)(Υ0-油的比重(/厘米3Υm-汞的比重(/厘米3) Pa-當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(Vt-滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積(/)

15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式:S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s) 式中:Z為旋片數(shù),n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/),L為泵腔長(zhǎng)度,D為泵腔直徑,d為轉(zhuǎn)子直徑(cm),Kv為容積利用系數(shù)

(一般取95)。

16O型橡膠槽深B0.7DD為橡膠直徑,槽寬C1.6B17、方形橡膠槽深B0.8AA

為方形橡膠邊長(zhǎng),槽寬C1.67B3

 

1、真空的定義

真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

2、真空度

處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。

3、真空度單位

通常用托(Torr)為單位,近年國(guó)際上取用帕(Pa)作為單位。1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱

4、托與帕的轉(zhuǎn)換1托=133.322帕或1帕=7.5³10-3

5、平均自由程

作無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號(hào)“λ”表示。

6、流量

單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量,符號(hào)用“Q”表示,單位為帕²升/秒(Pa²L/s)或托²升

/秒(Torr²L/s)。

7、流導(dǎo)

表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。UQ/(P2- P1)

8、壓力或壓強(qiáng)

氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。

9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號(hào):(Atm)。

10、極限真空

真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)

12小時(shí)煉氣,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次,取其10次的平均值為極限真空值。

11、抽氣速率

在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。即

SpQ/PP0

12、熱偶真空計(jì)

利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。

13、電離真空計(jì)(又收熱陰極電離計(jì))

由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來(lái)測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

14、復(fù)合真空計(jì)

由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成,測(cè)量范圍從大氣~10-5Pa

15、冷陰極電離計(jì)

陽(yáng)極筒的兩端有一對(duì)陰極板,在外加磁場(chǎng)作用,陽(yáng)極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來(lái)測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

16、電阻真空計(jì)

利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,通過(guò)電橋電路來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。

17、麥克勞真空計(jì)(壓縮式真空計(jì))

將待測(cè)的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,然后比較開(kāi)管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。

18、BA規(guī)這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測(cè)量下限,可測(cè)超高真空。

19、水環(huán)真空泵

泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。

20、往復(fù)真空泵

利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。

21、油封機(jī)械真空泵

用油來(lái)保持密封的機(jī)械真空泵,可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。

22、羅茨真空泵

具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,此泵不可以單獨(dú)抽氣,前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。

23、渦輪分子真空泵

有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪,當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。

24、油擴(kuò)散真空泵

擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下,氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散,并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除。

5、低溫真空泵利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。

26、冷阱(水冷擋板)

置于真空容器和泵之間,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

27、氣鎮(zhèn)閥

油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開(kāi)一小孔,并裝上調(diào)節(jié)閥,當(dāng)打開(kāi)閥并調(diào)節(jié)入氣量,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置,空氣就通過(guò)此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。

28、真空冷凍干燥

真空冷凍干燥,也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍,使其含有的水份變成冰塊,然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。

29、真空蒸鍍

在真空環(huán)境中,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。

30、真空干燥

利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來(lái)干燥物品的方法。

31、真空系統(tǒng)常用名稱

(1)主泵:

在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散

泵就是主泵。

(2)前級(jí)泵:

用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。

(3)粗抽泵:

從大氣壓下開(kāi)始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。

(4)維持泵:

在真空系統(tǒng)中,氣量很小時(shí),不能有效地利用前級(jí)泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵,就是維持泵。

 

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